Sensor tekanan adalah salah satu sensor yang lebih biasa. Sensor tekanan tradisional adalah terutamanya peranti struktur mekanikal, dan ubah bentuk bahagian elastik menunjukkan tekanan. Walau bagaimanapun, disebabkan saiz dan beratnya, mereka tidak dapat menjana elektrik.

Perkembangan teknologi semikonduktor juga telah membawa kepada kemunculan sensor tekanan semikonduktor. Ia dicirikan oleh saiz kecil, ringan, ketepatan tinggi dan prestasi suhu yang baik. Terutama dengan perkembangan teknologi MEMS, sensor semikonduktor sedang berkembang ke arah pengurangan, penggunaan kuasa yang rendah dan kebolehpercayaan yang tinggi.

Peranan sensor tekanan

1. Secara langsung digunakan untuk mengukur tekanan yang berbeza: tekanan udara, tekanan hidraulik, tekanan hidraulik (termasuk tekanan hidraulik), tekanan darah yang berbeza dalam kehidupan seharian, dan sebagainya;

2. Sensor tekanan digunakan dalam kereta, beberapa motosikal elit dan hampir semua enjin pembakaran dalaman;

3.

4. Kebanyakan isyarat berat dan isyarat kenderaan yang berat datang dari sensor tekanan.

Sensor tekanan terutamanya digunakan untuk mengawal dan memantau aplikasi tertentu. Dalam industri automotif, sensor tekanan MEMS digunakan terutamanya untuk mengukur tekanan bahan api, tekanan tayar, tekanan beg udara, dan tekanan saluran paip. Dalam bidang biomedikal, sensor tekanan MEMS digunakan terutamanya dalam sistem diagnostik dan pengesanan; Dalam industri aeroangkasa, sensor tekanan MEMS digunakan terutamanya untuk mengawal kedudukan kapal angkasa dan kapal angkasa;