Sensor tekanan semikonduktor yang biasa digunakan menggunakan wafer silikon N-jenis sebagai substrat. Pertama, wafer silikon dibuat menjadi bahagian tekanan elastik dengan geometri tertentu. Di bahagian tekanan silikon wafer, empat perintang penyebaran p-jenis dibuat di sepanjang arah kristal yang berlainan, dan kemudian jambatan gandum empat lengan dibentuk dengan empat perintang ini. Di bawah tindakan daya luaran, perubahan nilai rintangan menjadi isyarat elektrik. Jambatan gandum ini dengan kesan tekanan adalah jantung sensor tekanan, yang biasanya dipanggil jambatan piezoresistif (seperti yang ditunjukkan dalam Rajah 1). Ciri -ciri jambatan piezoresistif adalah seperti berikut: ① Nilai rintangan dari empat lengan jambatan adalah sama (semua R0); ② Kesan piezoresistif dari lengan berdekatan jambatan adalah sama dengan nilai dan bertentangan dengan tanda; ③ Koefisien suhu rintangan dari empat lengan jambatan adalah sama, dan mereka sentiasa pada suhu yang sama. Dalam rajah. 1, R0 adalah nilai rintangan tanpa tekanan pada suhu bilik; RT adalah perubahan yang disebabkan oleh pekali suhu rintangan (α) apabila suhu berubah; Υ rδ adalah perubahan rintangan yang disebabkan oleh ketegangan (ε); Voltan output jambatan ialah U = I0 δ Rδ = I0RGδ (jambatan sumber semasa yang berterusan).

Di mana I0 adalah arus sumber semasa yang berterusan dan E ialah voltan sumber voltan malar. Voltan output jambatan piezoresistif adalah berkadar terus dengan ketegangan (ε) dan tidak ada kaitan dengan RT yang disebabkan oleh pekali suhu rintangan, yang sangat mengurangkan hanyutan suhu sensor. Sensor tekanan semikonduktor yang paling banyak digunakan adalah sensor untuk mengesan tekanan bendalir. Struktur utamanya ialah kapsul yang diperbuat daripada silikon monocrystalline (seperti yang ditunjukkan dalam Rajah 2). Diafragma dibuat ke dalam cawan, dan bahagian bawah cawan adalah bahagian yang menanggung daya luaran, dan jambatan tekanan dibuat di bahagian bawah cawan. Kaki cincin diperbuat daripada bahan kristal tunggal silikon yang sama, dan kemudian diafragma terikat pada alas. Sensor tekanan semacam ini mempunyai kelebihan kepekaan yang tinggi, jumlah kecil dan kepantasan, dan telah digunakan secara meluas dalam penerbangan, navigasi ruang, instrumen automasi dan instrumen perubatan.