Struktur Penderia Piezoresistif

Dalam penderia ini, jalur perintang disepadukan pada diafragma silikon monohabluran melalui proses penyepaduan untuk membuat cip piezoresistif silikon, dan pinggiran cip ini dibungkus dengan tetap dalam cangkerang, dan petunjuk elektrod dialihkan keluar. Penderia tekanan piezoresistif, juga dikenali sebagai penderia tekanan keadaan pepejal, adalah berbeza daripada tolok terikan pelekat, yang perlu merasakan daya luaran secara tidak langsung melalui elemen sensitif elastik, tetapi secara langsung merasakan tekanan yang diukur melalui diafragma silikon.

Satu sisi diafragma silikon ialah rongga tekanan tinggi yang berkomunikasi dengan tekanan yang diukur, dan sebelah lagi ialah rongga tekanan rendah yang berkomunikasi dengan atmosfera. Secara amnya, diafragma silikon direka bentuk sebagai bulatan dengan pinggir tetap, dan nisbah diameter kepada ketebalan adalah kira-kira 20 ~ 60. Empat jalur rintangan kekotoran P disebarkan secara tempatan pada diafragma silikon bulat dan disambungkan ke dalam jambatan penuh, dua daripadanya berada dalam zon tegasan mampatan dan dua lagi berada dalam zon tegasan tegangan, yang simetri berkenaan dengan pusat diafragma.

Di samping itu, terdapat juga diafragma silikon persegi dan sensor lajur silikon. Penderia silinder silikon juga diperbuat daripada jalur perintang melalui resapan ke arah tertentu satah kristal silinder silinder, dan dua jalur rintangan tegasan tegangan dan dua jalur rintangan tegasan mampatan membentuk jambatan penuh.

Penderia piezoresistif ialah peranti yang dibuat oleh rintangan resapan pada substrat bahan semikonduktor mengikut kesan piezoresistif bahan semikonduktor. Substratnya boleh digunakan secara langsung sebagai sensor pengukur, dan rintangan resapan disambungkan dalam substrat dalam bentuk jambatan.

Apabila substrat berubah bentuk oleh daya luaran, nilai rintangan akan berubah dan jambatan akan menghasilkan output tidak seimbang yang sepadan. Substrat (atau diafragma) yang digunakan sebagai penderia piezoresistif adalah terutamanya wafer silikon dan wafer germanium. Penderia piezoresistif silikon yang diperbuat daripada wafer silikon sebagai bahan sensitif telah menarik lebih banyak perhatian, terutamanya penderia piezoresistif keadaan pepejal untuk mengukur tekanan dan kelajuan adalah yang paling banyak digunakan.