Struktur sensor piezoresistif

Dalam sensor ini, jalur perintang disepadukan pada diafragma silikon monocrystalline dengan proses integrasi untuk membuat cip piezoresistif silikon, dan pinggir cip ini dibungkus dengan tepat di dalam shell, dan elektrod memimpin. Sensor tekanan piezoresistif, yang juga dikenali sebagai sensor tekanan pepejal, adalah berbeza daripada tolok ketegangan pelekat, yang perlu merasakan daya luaran secara tidak langsung melalui unsur-unsur sensitif elastik, tetapi secara langsung merasakan tekanan diukur melalui diafragma silikon.

Satu sisi diafragma silikon adalah rongga tekanan tinggi yang berkomunikasi dengan tekanan yang diukur, dan sisi lain adalah rongga tekanan rendah yang berkomunikasi dengan atmosfera. Secara amnya, diafragma silikon direka bentuk sebagai bulatan dengan pinggir tetap, dan nisbah diameter ke ketebalan adalah kira -kira 20 ~ 60. Empat rintangan rintangan p yang disebarkan secara tempatan pada silikon bulat diafragma dan disambungkan ke dalam jambatan penuh,

Di samping itu, terdapat juga diafragma silikon persegi dan sensor lajur silikon. Sensor silinder silikon juga diperbuat daripada jalur rintangan dengan penyebaran dalam arah tertentu satah kristal silinder silikon, dan dua jalur rintangan tegangan tegangan dan dua jalur rintangan tekanan mampatan membentuk jambatan penuh.

Sensor piezoresistif adalah peranti yang dibuat oleh rintangan penyebaran pada substrat bahan semikonduktor mengikut kesan piezoresistif bahan semikonduktor. Substratnya boleh digunakan secara langsung sebagai sensor pengukur, dan rintangan penyebaran disambungkan dalam substrat dalam bentuk jambatan.

Apabila substrat cacat oleh daya luaran, nilai rintangan akan berubah dan jambatan akan menghasilkan output tidak seimbang yang sepadan. Substrat (atau diafragma) yang digunakan sebagai sensor piezoresistif adalah wafer silikon dan wafer germanium. Sensor piezoresistif silikon yang diperbuat daripada wafer silikon sebagai bahan sensitif telah menarik lebih banyak perhatian, terutamanya sensor piezoresistif pepejal untuk mengukur tekanan dan kelajuan adalah yang paling banyak digunakan.