Sesuai untuk sensor tekanan minyak Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Empat teknologi tekanan sensor tekanan

1. Kapasitif

Sensor tekanan kapasitif biasanya disukai oleh sejumlah besar aplikasi profesional OEM. Mengesan perubahan kapasitans antara dua permukaan membolehkan sensor ini merasakan tekanan yang sangat rendah dan tahap vakum. Dalam konfigurasi sensor biasa kami, perumahan padat terdiri daripada dua permukaan logam yang selari, selari dan elektrik yang terpencil, salah satunya adalah diafragma yang boleh membengkokkan sedikit di bawah tekanan. Permukaan (atau plat) yang teguh dipasang supaya lenturan perhimpunan mengubah jurang di antara mereka (sebenarnya membentuk kapasitor berubah). Perubahan yang dihasilkan dikesan oleh litar komparator linear sensitif dengan (atau ASIC), yang menguatkan dan mengeluarkan isyarat peringkat tinggi berkadar.

2. CVD TYPE

Pemendapan wap kimia (atau "CVD") kaedah pembuatan lapisan polysilicon ke diafragma keluli tahan karat pada tahap molekul, sehingga menghasilkan sensor dengan prestasi drift jangka panjang yang sangat baik. Kaedah pembuatan semikonduktor pemprosesan kumpulan biasa digunakan untuk membuat jambatan tolok terikan polysilicon dengan prestasi yang sangat baik pada harga yang sangat berpatutan. Struktur CVD mempunyai prestasi kos yang sangat baik dan merupakan sensor yang paling popular dalam aplikasi OEM.

3. Jenis filem sputtering

Pemendapan filem sputtering (atau "filem") boleh mencipta sensor dengan lineariti gabungan maksimum, histeresis dan kebolehulangan. Ketepatannya boleh setinggi 0.08% skala penuh, manakala drift jangka panjang serendah 0.06% skala penuh setiap tahun. Prestasi luar biasa Instrumen Utama-Out Sputtered Thin Film Sensor adalah harta dalam industri penderiaan tekanan.

4. MMS Jenis

Sensor ini menggunakan diafragma silikon mikro (MMS) diafragma untuk mengesan perubahan tekanan. Diafragma silikon diasingkan dari medium oleh 316SS yang dipenuhi minyak, dan mereka bertindak balas dengan siri dengan tekanan cecair proses. Sensor MMS mengamalkan teknologi pembuatan semikonduktor biasa, yang boleh mencapai rintangan voltan tinggi, linearity yang baik, prestasi kejutan terma yang sangat baik dan kestabilan dalam pakej sensor padat.