Sesuai untuk sensor tekanan minyak Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Empat teknologi tekanan sensor tekanan

1. Kapasitif

penderia tekanan kapasitif biasanya digemari oleh sebilangan besar aplikasi profesional OEM. Mengesan perubahan kapasitans antara dua permukaan membolehkan penderia ini merasakan tekanan dan tahap vakum yang sangat rendah. Dalam konfigurasi penderia biasa kami, perumah padat terdiri daripada dua permukaan logam yang jaraknya rapat, selari dan terpencil secara elektrik, salah satunya pada asasnya ialah diafragma yang boleh bengkok sedikit di bawah tekanan. Permukaan (atau plat) yang tetap teguh ini dipasang supaya lenturan pemasangan mengubah jurang antara mereka (sebenarnya membentuk kapasitor berubah-ubah). Perubahan yang terhasil dikesan oleh litar pembanding linear sensitif dengan (atau ASIC), yang menguatkan dan mengeluarkan isyarat aras tinggi yang berkadar.

2. Jenis CVD

pemendapan wap kimia (atau "CVD") kaedah pembuatan mengikat lapisan polysilicon kepada diafragma keluli tahan karat pada tahap molekul, dengan itu menghasilkan sensor dengan prestasi drift jangka panjang yang sangat baik. Kaedah pembuatan semikonduktor pemprosesan kelompok biasa digunakan untuk mencipta jambatan tolok terikan polysilicon dengan prestasi cemerlang pada harga yang sangat berpatutan. Struktur CVD mempunyai prestasi kos yang sangat baik dan merupakan penderia yang paling popular dalam aplikasi OEM.

3. Jenis filem sputtering

Pemendapan filem sputtering (atau "filem") boleh mencipta penderia dengan gabungan lineariti maksimum, histerisis dan kebolehulangan. Ketepatan boleh setinggi 0.08% daripada skala penuh, manakala hanyut jangka panjang adalah serendah 0.06% daripada skala penuh setiap tahun. Prestasi luar biasa instrumen utama-penderia filem nipis kami yang terbantut adalah harta dalam industri pengesan tekanan.

4.Jenis MMS

Penderia ini menggunakan diafragma silikon mesin mikro (MMS) untuk mengesan perubahan tekanan. Diafragma silikon diasingkan daripada medium oleh 316SS yang berisi minyak, dan ia bertindak balas secara bersiri dengan tekanan bendalir proses. Penderia MMS menggunakan teknologi pembuatan semikonduktor biasa, yang boleh mencapai rintangan voltan tinggi, kelinearan yang baik, prestasi kejutan haba yang sangat baik dan kestabilan dalam pakej sensor padat.