Berkenaan dengan penderia tekanan rel biasa bahan api Passat 06E906051K

1. Kaedah untuk membentuk penderia tekanan, yang terdiri daripada:

Menyediakan substrat semikonduktor, di mana lapisan dielektrik interlayer pertama, lapisan dielektrik interlayer pertama dan lapisan dielektrik interlayer kedua terbentuk pada substrat semikonduktor.

Plat elektrod bawah dalam lapisan dielektrik interlayer pertama, elektrod bersama pertama terletak pada lapisan yang sama dengan plat elektrod bawah dan dijarakkan.

Menyambung lapisan;

Membentuk lapisan korban di atas plat kutub bawah;

Membentuk plat elektrod atas pada lapisan dielektrik interlayer pertama, lapisan interconnection pertama dan lapisan korban;

Selepas membentuk lapisan korban dan sebelum membentuk plat atas, pada lapisan interkoneksi pertama

Membentuk alur sambungan, dan mengisi alur sambungan dengan plat atas untuk menyambung secara elektrik dengan lapisan sambungan pertama;Atau,

Selepas membentuk plat elektrod atas, alur penyambung terbentuk di plat elektrod atas dan lapisan sambung pertama, yang

Membentuk lapisan konduktif yang menghubungkan plat elektrod atas dan lapisan interkoneksi pertama dalam alur sambungan;

Selepas menyambung secara elektrik plat atas dan lapisan sambung pertama, keluarkan lapisan korban untuk membentuk rongga.

2. Kaedah untuk membentuk sensor tekanan mengikut tuntutan 1, di mana dalam lapisan pertama

Kaedah untuk membentuk lapisan korban pada lapisan dielektrik interlayer terdiri daripada langkah-langkah berikut:

Mendepositkan lapisan bahan korban pada lapisan dielektrik interlayer pertama;

Mencorak lapisan bahan korban untuk membentuk lapisan korban.

3. Kaedah untuk membentuk sensor tekanan mengikut tuntutan 2, di mana fotolitografi dan ukiran digunakan.

Lapisan bahan korban dicorakkan dengan proses goresan.

4. Kaedah untuk membentuk sensor tekanan mengikut tuntutan 3, di mana lapisan korban

Bahannya ialah karbon amorf atau germanium.

5. Kaedah untuk membentuk sensor tekanan mengikut tuntutan 4, di mana lapisan korban

Bahannya ialah karbon amorf;

Gas etsa yang digunakan dalam proses mengetsa lapisan bahan korban termasuk O2, CO, N2 dan Ar;

Parameter dalam proses mengetsa lapisan bahan korban ialah: julat aliran O2 ialah 18 SCCM ~ 22 SCCM, dan kadar aliran CO ialah 10%.

Kadar aliran berjulat dari 90 SCCM hingga 110 SCCM, kadar aliran N2 berjulat dari 90 SCCM hingga 110 SCCM, dan kadar aliran Ar.

Julatnya ialah 90 SCCM ~ 110 SCCM, julat tekanan ialah 90 mtor ~ 110 mtor, dan kuasa pincang adalah

540w～660w.